日本 OKK 大宫工业 UVI-LED 高亮度LED手动紫外线照射器
2026-10-09 17:09:14
admin
日本 OKK 大宫工业 UVI-LED 高亮度LED手动紫外线照射器
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 子型号 | UVI‑LED‑6、UVI‑LED‑8、UVI‑LED‑12 |
| 适用晶圆环 | 6‑8‑12 英寸 dicing 划片框架；可单框架放置作业 |
| 光源形式 | 双波长 LED 紫外光源（365 / 385nm） |
| UV 照度 | ≥50 mW/cm²（整机有效照射面） |
| 有效照射区域 | W380 × D380 mm |
| 外壳材质 | SUS304 不锈钢箱体；上掀手动开盖 |
| 电源规格 | AC200‑240V，20A |
| 氮气选配接口 | 0.4‑0.5 MPa，100L/min；可氮气氛围照射（抑制器件氧化） |
| 外形尺寸 | W600 × D700 × H347 mm |
| 整机重量 | 约 60 kg |
| 操作模式 | 触摸屏；时间模式 / 累计光量模式两种运行方式；可存储多组工艺配方 |
