日本 OKK 大宫工业 UVI-MA 台式手动UV紫外线照射机
2026-10-09 17:04:42
admin
日本 OKK 大宫工业 UVI-MA 台式手动UV紫外线照射机
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 子型号 | UVI‑MA‑8、UVI‑MA‑12 |
| 适用晶圆环 | 6 英寸框架 ×2 片；8 英寸 ×1 片；12 英寸 ×1 片（⚠️12 英寸无法完整全域照射） |
| 光源类型 | BLB 黑光灯（荧光灯管式）；灯管型号 FPL36BLB‑OKK；7 支 ×36W |
| UV 照度 | ≥9 mW/cm²（长波 UV‑A） |
| 外壳材质 | SUS304 不锈钢箱体；上掀式手动开盖 |
| 照射有效区域 | W410 × D360 mm |
| 电源 | AC100V，10A |
| 氮气选配 | 0.4‑0.5 MPa，100L/min（氮气环境照射可选） |
| 外形尺寸 | W520 × D550 × H200 mm |
| 整机重量 | 约 30 kg |
| 操作模式 | ①时间模式（设定照射时长）；②积算光量模式（设定累计能量）；触摸屏操作 |
