日本 OKK 大宫工业 FBUV 解胶机
2026-10-09 17:11:16
admin
日本 OKK 大宫工业 FBUV 解胶机
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 子型号 | FBUV‑8（6‑8 英寸）；FBUV‑12（8‑12 英寸） |
| 适用晶圆环 | 6/8 英寸 dicing frame；8/12 英寸 dicing frame |
| 光源类型 | BLB 黑光灯荧光灯管（长波 UV‑A） |
| UV 照度 | ≥9 mW/cm² |
| 上料方式 | 晶圆卡匣（Cassette）自动供给、自动收料；无需人工单片放料 |
| 工作台方式 | 转盘旋转照射，转盘回转保证整片照射均匀 |
| 电源规格 | AC100V 30A |
| 驱动气源 | 0.4‑0.5 MPa；65L/min；选配氮气吹扫 0.4‑0.5MPa、100L/min |
| 外形尺寸 FBUV‑8 | W660 × D1030 × H1160 mm |
| 外形尺寸 FBUV‑12 | W1050 × D1100 × H1200 mm |
| 整机重量 | 约 250kg |
| 运行模式 | 时间模式 / 累计光量模式；触摸屏操作；可保存多组工艺配方；内置照度监控传感器 |
