日本 OKK 大宫工业 OEX-SA 半自动晶圆扩片机
2026-10-09 16:53:47
admin
日本 OKK 大宫工业 OEX-SA 半自动晶圆扩片机
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 子型号 | OEX‑SA‑8（8 英寸机型）；OEX‑SA‑12（12 英寸机型） |
| 适用晶圆环 | 8 寸版：4‑8 英寸 dicing frame；12 寸版：6‑12 英寸 dicing frame |
| 适配胶带 | UV 划片切割膜；普通划片扩张胶带 |
| 驱动方式 | 伺服电机升降扩张；内置气动切膜机构 |
| 工作台加热 | 内置温控加热；室温～80℃可调；加温改善胶带延展性能 |
| 电源 | AC200V |
| 气源条件 | 0.4MPa 以上干燥压缩空气，10L/min 以上 |
| 扩展高度范围 | OEX‑SA‑8：15‑55 mm；OEX‑SA‑12：15‑100 mm；停止定位精度 ±0.1 mm |
| 升降扩张速度 | 1‑20 mm/s；0.1 mm/s 为单位数字设定 |
| 外形尺寸‑8 寸 | W480 × D600 × H564 mm；整机约 70kg |
| 外形尺寸‑12 寸 | W600 × D720 × H648 mm；整机约 80kg |
| 操作方式 | 人工上料；触摸屏设定工艺配方；一键完成：扩张、外挡环压装、多余胶带自动裁切 |
