日本 OKK 大宫工业 OTR‑M‑8 真空式半自动晶圆贴膜机 OTR‑M‑12
2026-10-09 16:49:11
admin
日本 OKK 大宫工业 OTR‑M‑8 真空式半自动晶圆贴膜机 OTR‑M‑12
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 子型号 | OTR‑M‑8（8 英寸版）；OTR‑M‑12（12 英寸版） |
| 适用工件 | 晶圆、基板；BG 背磨胶带、UV 保护膜剥离 |
| 适配晶圆尺寸 | OTR‑M‑8：2‑8 英寸；OTR‑M‑12：2‑12 英寸 |
| 工作台 | A5056 铝合金基材，PTFE 特氟龙涂层；选配多孔陶瓷真空吸附台面 |
| 工作台加热 | 内置加热，室温～80℃可调，加温降低胶黏力 |
| 电源 | AC100V |
| 压缩空气气源 | 不需要气源（纯手动机型） |
| 外形尺寸 OTR‑M‑8 | W500 × D810 × H430 mm；整机约 30kg |
| 外形尺寸 OTR‑M‑12 | W650 × D980 × H430 mm；整机约 70kg |
| 操作方式 | 人工放置晶圆，真空吸附固定；手动扳动剥离手柄完成撕除胶带；手动卷取废胶带 |
