日本 OKK 大宫工业 OTM‑SA 半自动晶圆贴膜机
2026-10-09 16:29:54
admin
日本 OKK 大宫工业 OTM‑SA 半自动晶圆贴膜机
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 子型号 | OTM‑SA‑8（8 英寸机型）；OTM‑SA‑12（12 英寸机型） |
| 适用晶圆 | 6‑8 英寸；8‑12 英寸（两款机身） |
| 适配划片框架 | 8 寸版：6‑8 寸；12 寸版：8‑12 寸 dicing frame |
| 兼容胶带 | BG 背磨胶带、UV 划片胶带、DAF 粘接膜、干膜 |
| 工作台 | 真空吸附工作台；可选多孔陶瓷台面、中空非接触台面（保护图形面） |
| 电源 | AC200V |
| 驱动气源 | 0.4‑0.5MPa 压缩空气供给 |
| 外形尺寸 OTM‑SA‑8 | W600 × D1170 × H1130 mm；整机约 260kg |
| 外形尺寸 OTM‑SA‑12 | W715 × D1330 × H1155 mm；整机约 360kg |
